Технология производства интегральных микросхем
В книге описаны основные технологические процессы производства микросхем: механической обработки полупроводников и диэлектриков, очистки пластин и подложек.
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Опубликовано: |
НБ СевКавГТУ
|
| Темы: | |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|