Нанотехнологии в полупроводниковой электронике
В монографии представлены результаты работ ИФП СО РАН по развитию нанотехнологий и методов диагностики для создания нового поколения устройств и приборов современной микро- и наноэлектроники....
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Опубліковано: |
НБ СевКавГТУ
|
| Предмети: | |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|