ВЧ МЭМС и их применение

ВЧ МЭМС и их применение

В монографии подробно рассмотрены вопросы проектирования и применения, а также технологические аспекты производства разнообразных микроэлектромеханических устройств....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Варадан В., Виной К., Джозе К., Заболотная Ю. А. (340)
Format:	Buch
Veröffentlicht:	НБ СевКавГТУ
Schlagworte:	микромашины микросистемная техника умная поверхность умная структура умная пыль микропереключатели микрореле конденсаторы катушки индуктивности в микросистемах микроконденсаторы высокочастотные микрофильтры микрофильтры фильтры на поверхностных акустических волнах (ПАВ) микрофазовращатели ферроэлектрические фазовращатели микроантенны микрополосковые антенны
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	В монографии подробно рассмотрены вопросы проектирования и применения, а также технологические аспекты производства разнообразных микроэлектромеханических устройств.