ВЧ МЭМС и их применение
В монографии подробно рассмотрены вопросы проектирования и применения, а также технологические аспекты производства разнообразных микроэлектромеханических устройств....
Tallennettuna:
| Päätekijät: | , , , |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Kirja |
| Julkaistu: |
НБ СевКавГТУ
|
| Aiheet: | |
| Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|