ВЧ МЭМС и их применение
В монографии подробно рассмотрены вопросы проектирования и применения, а также технологические аспекты производства разнообразных микроэлектромеханических устройств....
Сохранить в:
Главные авторы: | , , , |
---|---|
Формат: | Книга |
Опубликовано: |
НБ СевКавГТУ
|
Темы: | |
Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|