Справочник по технологии микроэлектронных устройств
В справочнике приводятся данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах очистки, механической, химической и электромеханической обработки....
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Formaat: | Boek |
| Gepubliceerd in: |
НБ СевКавГТУ
|
| Onderwerpen: | |
| Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
| LEADER | 01479nam a2200301 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | F.NCFU.000029.02C36F | ||
| 005 | 20061103094624.0 | ||
| 010 | |9 21000 экз. | ||
| 100 | |a 20061031d1986 u y0rusy50 02 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a a g | ||
| 200 | 1 | |a Справочник по технологии микроэлектронных устройств |f З. Ю. Готра | |
| 210 | |a Львов |c Каменяр |d 1986 | ||
| 215 | |a 287 с. |c ил., табл. | ||
| 320 | |a Библиогр.: с. 284-285 | ||
| 330 | |a В справочнике приводятся данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах очистки, механической, химической и электромеханической обработки. | ||
| 606 | |a микроэлектронные устройства |j справочник | ||
| 608 | |a справочники | ||
| 610 | |a диффузия в полупроводниках | ||
| 610 | |a микроэлектроника | ||
| 610 | |a выращивание монокристаллов | ||
| 615 | |x электротехника | ||
| 675 | |a 621.38(03) | ||
| 700 | 1 | |a Готра |b З. Ю. |g Зенон Юрьевич | |
| 801 | 1 | |a RU |b НБ СевКавГТУ |c 20061031 | |
| 801 | 0 | |a RU |b НБ СевКавГТУ |c 20061031 |g rcr | |
| 899 | |h 621.38(03) |i Г 74 | ||