Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники
Изложены основные физико-химические процессы, протекающие в полимерах при имплантации ионов, и изменение свойств полимеров в результате ионной имплантации.
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Опубликовано: |
НБ СевКавГТУ
|
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 01490nam a2200265 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | F.NCFU.000029.042A9A | ||
| 005 | 20090629114612.0 | ||
| 010 | |9 75 экз. |a 978-5-94506-200-9 | ||
| 100 | |a 20090622d2008 m y0rusy50 02 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j | ||
| 200 | 1 | |a Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники |e [учеб. пособие] |f Ф. И. Григорьев |g МГИЭМ | |
| 210 | |a М. |c МГИЭМ |d 2008 | ||
| 215 | |a 35 с. | ||
| 320 | |a Библиогр.: с. 33 | ||
| 330 | |a Изложены основные физико-химические процессы, протекающие в полимерах при имплантации ионов, и изменение свойств полимеров в результате ионной имплантации. | ||
| 606 | |a полимеры |j учебные издания для высшей школы |x обработка ионно-плазменная |x применение в радиоэлектронике | ||
| 608 | |9 вузы |a учебники | ||
| 675 | |a 544.2 (075) | ||
| 700 | 1 | |a Григорьев |b Ф. И. |g Федор Иосифович | |
| 801 | 1 | |a RU |b НБ СевКавГТУ |c 20090622 | |
| 801 | 0 | |a RU |b НБ СевКавГТУ |c 20090622 |g rcr | |
| 856 | 7 | |u libdata.ncstu.ru/cgi-bin/ftreview.pl?t042A9A |z Оглавление | |
| 899 | |h F.NCFU.00035D.117C8D |i Г 83 | ||