Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники
Изложены основные физико-химические процессы, протекающие в полимерах при имплантации ионов, и изменение свойств полимеров в результате ионной имплантации.
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Опубликовано: |
НБ СевКавГТУ
|
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
