| LEADER | 00655nam a2200169 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | F.NCFU.000295.07E9CA | ||
| 005 | 20140410155632.0 | ||
| 200 | |a Химия в микроэлектронике |e Химическое осаждение из газовой фазы | ||
| 210 | |a М. |c Знание |d 1988 | ||
| 215 | |a 48 с. | ||
| 225 | |a Новое в жизни, науке, технике. Сер. "Химия" |h № 4 | ||
| 700 | 1 | |a Раков |b Э. Г. | |
| 701 | 1 | |a Тесленко |b В. В. | |
| 801 | 0 | |a RU |b NCFU |c 20140410 |g rcr | |
| 801 | 1 | |2 rusmarc |a RU |b NCFU |c 20140410 | |
| 899 | |i Р 193 |j 6П7.1 | ||
| 993 | |a 289061 |b 111133 |f 8 |h 0-11 |i 800000050131 |m 1 |n 38943.444895833331 |o U | ||
