Применение инфракрасной спектроскопической эллипсометрии в наноинженерии монография
Монография посвящена применению метода ИК-спектроскопической эллипсометрии для исследований и диагностики наноматериалов и наноразмерных многослойных гетероструктур. Плодотворность использования данного метода нанодиагностики обусловлена тем, что, с одной стороны, метод является неразрушающим, а с д...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 04549nam0a2200385 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/104247 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/104247.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-209-08575-1 | ||
| 205 | |a Применение инфракрасной спектроскопической эллипсометрии в наноинженерии |b Весь срок охраны авторского права | ||
| 333 | |a Весь срок охраны авторского права | ||
| 100 | |a 20250903d2018 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Применение инфракрасной спектроскопической эллипсометрии в наноинженерии |e монография |f М. О. Макеев, С. А. Мешков, Ю. А. Иванов | |
| 700 | 1 | |a Макеев, |b М. О. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Мешков, |b С. А. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Иванов, |b Ю. А. |4 070 | |
| 330 | |a Монография посвящена применению метода ИК-спектроскопической эллипсометрии для исследований и диагностики наноматериалов и наноразмерных многослойных гетероструктур. Плодотворность использования данного метода нанодиагностики обусловлена тем, что, с одной стороны, метод является неразрушающим, а с другой – высокоточным и чувствительным (точность определения толщин слоев гетероструктуры составляет доли нанометра). Этими обстоятельствами обусловлено широкое применение ИК-спектроскопической эллипсометрии в различных областях исследований: в микро- и наноэлектронике, физике полупроводников и физике твердого тела, в оптике, электрохимии, химии полимеров, биологии, медицине и многих других, а также в области диагностики и контроля технологических процессов микро- и нанотехнологий. В монографии приведены результаты исследований наноразмерных полупроводниковых, органических и металлоорганических гетероструктур, выполненных коллективом авторов методом ИК-спектроскопической эллипсометрии. Описаны принципы и методология проведения исследований на спектроскопических эллипсометрах. Для научных сотрудников научно-исследовательских институтов, преподавателей, аспирантов и студентов высших технических учебных заведений по направлениям подготовки «Нанотехнология», «Наноинженерия», «Нанотехнологии и микросистемная техника». Монография будет полезна всем, занимающимся вопросами исследований и диагностики наноматериалов и наноструктур и работающим в области нанотехнологий и наноинженерии. | ||
| 210 | |a Москва |c Российский университет дружбы народов |d 2018 | ||
| 610 | 1 | |a наноинженерия | |
| 610 | 1 | |a нанодиагностика | |
| 610 | 1 | |a эллипсометрия | |
| 610 | 1 | |a наноматериал | |
| 610 | 1 | |a наноструктура | |
| 675 | |a 537 | ||
| 686 | |a 22.3 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 143 с. | ||