Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: физические основы взаимодействия ускоренных ионов с многокомпонентными материалами учебное пособие
Ионно-лучевое модифицирование диэлектриков (ионная имплантация) приобрело за последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств современной твердотельной электроники, но и как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения. Исследован...
Αποθηκεύτηκε σε:
Κύριος συγγραφέας: | |
---|---|
Μορφή: | Книга |
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | Перейти к просмотру издания |
Ετικέτες: |
Προσθήκη ετικέτας
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!
|
Φυσική περιγραφή: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-4487-0787-2 |