Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: физические основы взаимодействия ускоренных ионов с многокомпонентными материалами учебное пособие
Ионно-лучевое модифицирование диэлектриков (ионная имплантация) приобрело за последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств современной твердотельной электроники, но и как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения. Исследован...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| LEADER | 05146nam0a2200409 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/107584 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/107584.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-4487-0787-2 | ||
| 205 | |a Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: физические основы взаимодействия ускоренных ионов с многокомпонентными материалами |b Весь срок охраны авторского права | ||
| 333 | |a Весь срок охраны авторского права | ||
| 100 | |a 20250903d2021 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: физические основы взаимодействия ускоренных ионов с многокомпонентными материалами |e учебное пособие |f В. В. Перинский, И. В. Перинская, С. Б. Вениг | |
| 700 | 1 | |a Перинский, |b В. В. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Перинская, |b И. В. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Вениг, |b С. Б. |4 070 | |
| 330 | |a Ионно-лучевое модифицирование диэлектриков (ионная имплантация) приобрело за последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств современной твердотельной электроники, но и как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения. Исследования эффектов ионной имплантации диэлектриков ведутся по многим направлениям: моделирование нейтронных дефектов в стенках тепловыделяющих элементов ядерных реакторов, повышение твердости и износостойкости полимерных диэлектрических покрытий интегральных схем, создание медицинских имплантатов. В учебном пособии изложены результаты исследований физико-химических процессов, протекающих в диэлектриках при имплантации ионов высоких энергий, с целью повышения эксплуатационных свойств. Издание включает следующие разделы: достижения ионной имплантации диэлектриков, закономерности материаловедения диэлектриков при взаимодействии ускоренных ионов с диэлектрическими материалами, процедура компьютерного моделирования процесса ионного внедрения в технологии модифицирования диэлектрических структур. Книга будет интересна и полезна преподавателям, научным работникам, инженерам, а также магистрантам и аспирантам укрупненных групп специальностей и направлений подготовки 15.00.00 «Машиностроение», 28.00.00 «Нанотехнологии и наноматериалы» при изучении дисциплин «Новые конструкционные материалы», «Функциональные покрытия изделий машиностроения», «Наноматериалы и нанотехнологии в машиностроении», «Тонкопленочные технологии в упрочнении изделий машиностроения», «Применение СВЧ энергии в нанотехнологиях». | ||
| 210 | |a Саратов |c Вузовское образование |d 2021 | ||
| 610 | 1 | |a материаловедение | |
| 610 | 1 | |a диэлектрик | |
| 610 | 1 | |a ускоренный ион | |
| 610 | 1 | |a многокомпонетный материал | |
| 610 | 1 | |a ионная имплантация | |
| 610 | 1 | |a твердотельная электроника | |
| 610 | 1 | |a полимерное покрытие | |
| 675 | |a 621.3 | ||
| 686 | |a 34.650 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 104 с. | ||