Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: физические основы взаимодействия ускоренных ионов с многокомпонентными материалами учебное пособие
Ионно-лучевое модифицирование диэлектриков (ионная имплантация) приобрело за последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств современной твердотельной электроники, но и как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения. Исследован...
Պահպանված է:
Հիմնական հեղինակ: | |
---|---|
Ձևաչափ: | Книга |
Խորագրեր: | |
Առցանց հասանելիություն: | Перейти к просмотру издания |
Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|