Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок...
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Formaat: | Книга |
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
| LEADER | 03412nam0a2200373 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/108372 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/108372.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20240904 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-4497-1207-3 | ||
| 205 | |a Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения |b 2031-06-07 | ||
| 333 | |a Лицензия до 07.06.2031 | ||
| 100 | |a 20240904d2021 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения |e учебное пособие |f Г. И. Липатов | |
| 700 | 1 | |a Липатов, |b Г. И. |4 070 | |
| 330 | |a В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Помимо теоретического материала издание содержит также лабораторные работы, которые включают расчет скорости осаждения пленок из парогазовой фазы в различных режимах протекания процесса и изменения состава пленок по толщине при вакуум-термическом напылении, исследование процесса эпитаксиального осаждения кремния, изучение процесса непрерывной ректификации. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»), изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии». | ||
| 210 | |a Москва |c Ай Пи Ар Медиа |d 2021 | ||
| 610 | 1 | |a физико-химия | |
| 610 | 1 | |a физическое осаждение | |
| 610 | 1 | |a химическое осаждение | |
| 610 | 1 | |a парогазовая фаза | |
| 610 | 1 | |a наноэлектроника | |
| 610 | 1 | |a получение пленки | |
| 675 | |a 621.382 | ||
| 686 | |a 32.841 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 84 с. | ||