Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок...
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Книга |
| Aiheet: | |
| Linkit: | Перейти к просмотру издания |
| Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
