Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок...
Shranjeno v:
Glavni avtor: | Липатов, Г. И. (070) |
---|---|
Format: | Книга |
Teme: | |
Online dostop: | Перейти к просмотру издания |
Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|
Podobne knjige/članki
-
Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
od: Липатов, Г. И. - Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие
-
Получение промышленной продукции методом химического осаждения учебное пособие
od: Миролюбов, В. Р. -
Теория статического и динамического осаждения и соосаждения ионов
od: Жукова Л. А. -
Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
od: Васильев В. Ю.
Izdano: (2024)