Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок...
Kaydedildi:
Yazar: | Липатов, Г. И. (070) |
---|---|
Materyal Türü: | Книга |
Konular: | |
Online Erişim: | Перейти к просмотру издания |
Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
Benzer Materyaller
-
Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
Yazar:: Липатов, Г. И. - Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие
-
Получение промышленной продукции методом химического осаждения учебное пособие
Yazar:: Миролюбов, В. Р. -
Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
Yazar:: Васильев В. Ю.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2024) -
Теория статического и динамического осаждения и соосаждения ионов
Yazar:: Жукова Л. А.