Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок...
Сохранить в:
主要作者: | Липатов, Г. И. (070) |
---|---|
格式: | Книга |
主题: | |
在线阅读: | Перейти к просмотру издания |
标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|
相似书籍
-
Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
由: Липатов, Г. И. - Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие
-
Получение промышленной продукции методом химического осаждения учебное пособие
由: Миролюбов, В. Р. -
Теория статического и динамического осаждения и соосаждения ионов
由: Жукова Л. А. -
Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
由: Васильев В. Ю.
出版: (2024)