Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Темы: | |
| Acceso en liña: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|