Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: перспективные технологии электронных устройств на основе ионно-имплантированных полимеров учебное пособие
Ионно-лучевое модифицирование (ионная имплантация) приобрело за последние годы важное значение не только как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения, но и как технология создания микроэлектронных устройств современной твердотельной электроники на кремнии, арсениде галли...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
