Электромеханические микроустройства
Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения планарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковы...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Beschreibung: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-985-08-1419-7 |