Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
保存先:
| フォーマット: | Книга |
|---|---|
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | Перейти к просмотру издания |
| タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|
| 物理的記述: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-7262-2422-0 |