Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Guardado en:
| Formato: | Книга |
|---|---|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | Перейти к просмотру издания |
| Etiquetas: |
Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
|
| Descripción Física: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-7262-2422-0 |