Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Պահպանված է:
| Ձևաչափ: | Книга |
|---|---|
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | Перейти к просмотру издания |
| Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
| Ֆիզիկական նկարագրություն: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-7262-2422-0 |