Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
में बचाया:
स्वरूप: | Книга |
---|---|
विषय: | |
ऑनलाइन पहुंच: | Перейти к просмотру издания |
टैग : |
टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!
|
समान संसाधन
-
Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
द्वारा: Кузнецов Г. Д.
प्रकाशित: (2018) -
Транзисторы на основе полупроводниковых гетероструктур монография
द्वारा: Ковалев, А. Н. -
Технология эпитаксиальных слоев и гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
द्वारा: Кожитов, Л. В. -
Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций курс лекций
द्वारा: Кузнецов, Г. Д. - Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие