Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Na minha lista:
Formato: | Книга |
---|---|
Assuntos: | |
Acesso em linha: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Adicionar Tag
Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!
|
Registos relacionados
-
Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Por: Кузнецов Г. Д.
Publicado em: (2018) -
Транзисторы на основе полупроводниковых гетероструктур монография
Por: Ковалев, А. Н. -
Технология эпитаксиальных слоев и гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
Por: Кожитов, Л. В. -
Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций курс лекций
Por: Кузнецов, Г. Д. - Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие