Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Enregistré dans:
| Format: | Книга |
|---|---|
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Ajouter un tag
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|