Chuyển đến nội dung

Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие

Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Định dạng: Книга
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:Перейти к просмотру издания
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!