Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Книга |
| Témata: | |
| On-line přístup: | Перейти к просмотру издания |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|
| Fyzický popis: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-9729-0846-2 |