Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02255nam0a2200349 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/124225 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/124225.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-9729-0846-2 | ||
| 205 | |a Основы технологии электронной компонентной базы |b 2027-10-01 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 01.10.2027 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2022 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Основы технологии электронной компонентной базы |e учебное пособие |f Е. Э. Бодров | |
| 700 | 1 | |a Бодров, |b Е. Э. |4 070 | |
| 330 | |a Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». | ||
| 210 | |a Москва, Вологда |c Инфра-Инженерия |d 2022 | ||
| 610 | 1 | |a интегральные микросхемы | |
| 610 | 1 | |a легирование | |
| 610 | 1 | |a фотолитография | |
| 610 | 1 | |a металлизация | |
| 675 | |a 621.3 | ||
| 686 | |a 32.844 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 204 с. | ||