Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...
Сохранить в:
主要作者: | Бодров, Е. Э. (070) |
---|---|
格式: | Книга |
主题: | |
在线阅读: | Перейти к просмотру издания |
标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|
相似书籍
-
Основы технологии электронной компонентной базы Учебное пособие
由: Бодров Е.Э - Аналоговые интегральные схемы
-
Микроэлектроника
由: Ефимов И. Е., и др. -
Микроэлектроника
由: Ефимов И. Е., и др. -
Интегральные микросхемы и их зарубежные аналоги
由: Нефедов А. В.