Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...
Guardat en:
Autor principal: | Бодров, Е. Э. (070) |
---|---|
Format: | Книга |
Matèries: | |
Accés en línia: | Перейти к просмотру издания |
Etiquetes: |
Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|
Ítems similars
-
Основы технологии электронной компонентной базы Учебное пособие
per: Бодров Е.Э - Аналоговые интегральные схемы
-
Микроэлектроника
per: Ефимов И. Е., et al. -
Микроэлектроника
per: Ефимов И. Е., et al. -
Интегральные микросхемы и их зарубежные аналоги
per: Нефедов А. В.