Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...
Сохранить в:
Hovedforfatter: | Бодров, Е. Э. (070) |
---|---|
Format: | Книга |
Fag: | |
Online adgang: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
Lignende værker
-
Основы технологии электронной компонентной базы Учебное пособие
af: Бодров Е.Э - Аналоговые интегральные схемы
-
Микроэлектроника
af: Ефимов И. Е., и др. -
Микроэлектроника
af: Ефимов И. Е., и др. -
Интегральные микросхемы и их зарубежные аналоги
af: Нефедов А. В.