Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...
保存先:
第一著者: | Бодров, Е. Э. (070) |
---|---|
フォーマット: | Книга |
主題: | |
オンライン・アクセス: | Перейти к просмотру издания |
タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|
類似資料
-
Основы технологии электронной компонентной базы Учебное пособие
著者:: Бодров Е.Э - Аналоговые интегральные схемы
-
Микроэлектроника
著者:: Ефимов И. Е., 等 -
Микроэлектроника
著者:: Ефимов И. Е., 等 -
Интегральные микросхемы и их зарубежные аналоги
著者:: Нефедов А. В.