Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...
Uloženo v:
Hlavní autor: | |
---|---|
Médium: | Книга |
Témata: | |
On-line přístup: | Перейти к просмотру издания |
Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|