Saltar al contenido

Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие

Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...

Descripción completa

Guardado en:
Detalles Bibliográficos
Autor principal: Бодров, Е. Э. (070)
Formato: Книга
Materias:
Acceso en línea:Перейти к просмотру издания
Etiquetas: Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!