Siirry sisältöön

Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие

Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...

Täydet tiedot

Tallennettuna:
Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Бодров, Е. Э. (070)
Aineistotyyppi: Книга
Aiheet:
Linkit:Перейти к просмотру издания
Tagit: Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!