Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...
Spremljeno u:
Glavni autor: | |
---|---|
Format: | Книга |
Teme: | |
Online pristup: | Перейти к просмотру издания |
Oznake: |
Dodaj oznaku
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!
|