Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...
Shranjeno v:
Glavni avtor: | |
---|---|
Format: | Книга |
Teme: | |
Online dostop: | Перейти к просмотру издания |
Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|