Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Книга |
| 主題: | |
| 在線閱讀: | Перейти к просмотру издания |
| 標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|