Современное технологическое оборудование для микроэлектроники пособие
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует пр...
Wedi'i Gadw mewn:
| Prif Awdur: | |
|---|---|
| Fformat: | Книга |
| Pynciau: | |
| Mynediad Ar-lein: | Перейти к просмотру издания |
| Tagiau: |
Ychwanegu Tag
Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!
|
| Disgrifiad Corfforoll: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-985-895-032-3 |