Современное технологическое оборудование для микроэлектроники пособие
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует пр...
Αποθηκεύτηκε σε:
Κύριος συγγραφέας: | |
---|---|
Μορφή: | Книга |
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | Перейти к просмотру издания |
Ετικέτες: |
Προσθήκη ετικέτας
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!
|
Φυσική περιγραφή: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-985-895-032-3 |