Современное технологическое оборудование для микроэлектроники пособие
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует пр...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Темы: | |
| Acceso en liña: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|
| Descrición Física: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-985-895-032-3 |