Современное технологическое оборудование для микроэлектроники пособие
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует пр...
में बचाया:
मुख्य लेखक: | |
---|---|
स्वरूप: | Книга |
विषय: | |
ऑनलाइन पहुंच: | Перейти к просмотру издания |
टैग : |
टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!
|
भौतिक वर्णन: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
आईएसबीएन: | 978-985-895-032-3 |