Современное технологическое оборудование для микроэлектроники пособие
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует пр...
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Книга |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | Перейти к просмотру издания |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
| Mô tả vật lý: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| số ISBN: | 978-985-895-032-3 |