Современное технологическое оборудование для микроэлектроники пособие
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует пр...
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Formaat: | Книга |
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
| LEADER | 02760nam0a2200385 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/125423 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/125423.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20240904 |g RCR | |
| 010 | |a 978-985-895-032-3 | ||
| 205 | |a Современное технологическое оборудование для микроэлектроники |b 2027-10-28 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 28.10.2027 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20240904d2022 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Современное технологическое оборудование для микроэлектроники |e пособие |f В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк | |
| 700 | 1 | |a Камлюк, |b В. С. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Камлюк, |b Д. В. |4 070 | |
| 330 | |a В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника». | ||
| 210 | |a Минск |c Республиканский институт профессионального образования (РИПО) |d 2022 | ||
| 610 | 1 | |a технологическое оборудование | |
| 610 | 1 | |a микроэлектроника | |
| 610 | 1 | |a полупроводник | |
| 610 | 1 | |a наладка | |
| 610 | 1 | |a регулировка | |
| 610 | 1 | |a аттестация | |
| 675 | |a 621.315 | ||
| 686 | |a 32.844 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 267 с. | ||