Современное технологическое оборудование для микроэлектроники пособие
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует пр...
Salvato in:
Autore principale: | |
---|---|
Natura: | Книга |
Soggetti: | |
Accesso online: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|