Современное технологическое оборудование для микроэлектроники пособие
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует пр...
Bewaard in:
Hoofdauteur: | |
---|---|
Formaat: | Книга |
Onderwerpen: | |
Online toegang: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|