Современное технологическое оборудование для микроэлектроники пособие
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует пр...
Kaydedildi:
Yazar: | |
---|---|
Materyal Türü: | Книга |
Konular: | |
Online Erişim: | Перейти к просмотру издания |
Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|