Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники
Монография посвящена разработке новых многокомпонентных материалов для изделий наноэлектроники. Рассмотрены методы расчета азеотропных и эвтектических составов резистивных сплавов. Установлены механизмы и закономерности рекристаллизации и фазовых превращений, протекающих при термообработке многокомп...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03466nam0a2200349 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/128089 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/128089.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-985-08-2875-0 | ||
| 205 | |a Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники |b Весь срок охраны авторского права | ||
| 333 | |a Весь срок охраны авторского права | ||
| 100 | |a 20250903d2022 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники |f В. А. Зеленин | |
| 700 | 1 | |a Зеленин, |b В. А. |4 070 | |
| 330 | |a Монография посвящена разработке новых многокомпонентных материалов для изделий наноэлектроники. Рассмотрены методы расчета азеотропных и эвтектических составов резистивных сплавов. Установлены механизмы и закономерности рекристаллизации и фазовых превращений, протекающих при термообработке многокомпонентных пленок и многослойных структур, содержащих тугоплавкие и редкоземельные элементы, их влияние на стабильность электрических параметров элементов интегральных микросхем (ИМС). Рассмотрены процессы, протекающие в объеме и на границах раздела многослойных структур при их формировании и при последующих высокоэнергетических воздействиях. Приведены данные по влиянию технологических параметров изготовления на структуру, фазовый состав и стабильность электрофизических свойств элементов ИМС. Рассчитана на широкий круг научных и инженерно-технических работников, специалистов в области микро- и наноэлектроники, может служить в качестве учебного пособия по теоретическим вопросам конструирования и производства ИМС для студентов и аспирантов вузов. | ||
| 210 | |a Минск |c Белорусская наука |d 2022 | ||
| 610 | 1 | |a наноэлектроника | |
| 610 | 1 | |a сплавы | |
| 610 | 1 | |a структура пленок | |
| 610 | 1 | |a изготовление мишеней | |
| 675 | |a 539.216 | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 291 с. | ||